洁净室空气监控,惰性气体采样和微环境监控
性能: 监控zui小粒径 0.3µm ( 4903 )和 0.5µm ( 4905 )
流量
0.1cfm(
粒径通道 R4903 CH1/CH2 0.3/0.5µm
R4905 CH1/CH2 0.5/5.0µm
激光光源采用激光二极管( 30,000 小时 MTBF )
浓度损失 <5%@2,000,000 颗 /ft3
电源采用 6VDC(+10%) <125mA ,回路供电 15-30VDC
可选配开关电源,电源适配器,取样或真空管,
PVO/UVO 软件等附件