匀胶机..AC200-SE
匀胶机..AC200-SE 此款匀胶机共有两种型号：AC200-SE是标准型号， AC200-PE 是型号； AC200 精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，这是一种程控伺服型精密匀胶机，可以实现价值百万美元设备上才能达到的稳定性和均匀性。这款设备采用了不锈钢外壳，更加耐久和美观；采用了工业级别的 200W 的伺服电机系统和与 track 设备相同的设计和程序，使工艺更具有实际应用意义； AC200 在同类产品中**的较先达到 5000RPM/s 的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和可重复性。
匀胶机AC200-SE
主要性能指标
1：主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）
2：内腔采用易清洁、耐腐蚀的高分子材料（ HDPE ）
3：旋涂程序：多可存 100 组程序，每组 100 步，每个步骤可精确到 0.1 秒
4：旋涂速度： 0-10000rpm
5：旋涂加速度： 0-50000rpm/s
6：马达旋涂转速稳定性能误差：＜ ±1rpm （TN-AC200-SE)；＜ ±0.1rpm （TN-AC200-PE)
7：转速调节精度及重复性： 1rpm （TN-AC200-SE);0.1rpm（TN-AC200-PE)
8：AC200-PE另带真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能
9：工艺时间设定： 0-3000sec/step ，时间设置精度： 0.1sec
10：支持 wafer 尺寸：碎片至 200mm （ 8'' 圆晶）
11：旋涂作业均匀性：＜ ±3% 在 6 英寸范围内（需要去除边缘 3 毫米测量）
产品特性优点
1：**的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸
2: 采用7英寸触摸屏控制面板，操作更加便捷
3：采用 “ 密闭碗 ” 设计，可以适应各种材料的匀胶工艺。
4：标准配置的转速为 10000rpm ，可以根据用户需要进行定制
5：采用工业级的伺服电机，电机*的设计可以避免光刻胶等污染物进入电机内部
6：机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，*生锈，便于清洗。
7：排风和抽气系统位于载片台的底部，利于排风效率和匀胶的均一性
8：透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时隔绝光阻的溢出及有效有毒的气味的散发。
