日本富士fujiwork超薄薄膜测厚仪HKT-1216
消除测量者的偏差舒适，准确地测量1μm或更小的超薄膜
* 1线性度是
显示是否可以与测量头的位移量成比例显示的比率。 位移量
为±0.2％
/ 100μm±0.2μm
位移量/ 500μm±1μm
位移量/ 1000μm±2μm
（测量误差因位移量而异）
- 重复性/ 0.05μm
（使用升降器重复上下触控笔） - 测量分辨率/ 0.01μm
- 线性度/±0.2％* 1
- 可以改变测量压力（z小测量压力0.14N）
- 米/ R30超硬球面
- 测量范围/ 200μm * 2
- 测量架/测量表面Φ50陶瓷制成
- 输出/模拟和RS232C
- 电源/ AC100V
- 选件/
・软件・数据打印机・更换笔
·真空台·外部置零开 -
* 2根据被测物体的材质，测量范围可能会改变。
*注意* HKT-1240已因放大器单元的停产而停产。HKT-1216将替代HKT-1240。
