日本YAMABUN山文电气台式离线分光干涉式测厚仪TOF-S
产品特点
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实现高测量重复性(± 0.01 μm 或更小,取决于对象和测量条件)
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不易受温度变化的影响
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可以生产用于研究和检查的离线式和在制造过程中使用的在线式。
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反射型允许从薄膜的一侧进行测量
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仅可测量透明涂膜层(取决于测量条件)
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模型 飞行时间 测量方法 非接触式/光谱干涉式 测量对象 电子和光学用透明平滑膜、多层膜 测量原理 光谱干扰型 日本YAMABUN山文电气台式离线分光干涉式测厚仪TOF-S
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产品规格
测量厚度 1~50μm(薄材料)、10~150μm(厚材料) 测量长度 50-5000 毫米 测量间距 1 毫米 ~ 小显示值 0.001微米 电源电压 AC100 V 50/60 Hz 工作温度限制 5~45℃(测量时温度变化1℃以内) 湿度 35-80%(无冷凝) 测量区域 φ0.6 毫米 测量间隙 约 30 毫米