微调放气阀
安捷伦微调放气阀包括可移动的活塞,其光学级平滑的蓝宝石端面可与金属密封垫可靠密封。这样可以形成无摩擦、咬合和偏斜的密封。蓝宝石的位移通过机械增益为 13000 比 1 的螺纹轴杆机构控制。
特性
技术参数
09_Vacuum_Measurement.pdf
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技术参数
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