1.
2.
生产能力≤
2.5s/1pcs(156mm*156mm),
≤
2.3/1PCS( 125mm*125mm) ,
具有储片缓存能力
3.
机械臂强度可靠,能精确平稳快速运动
4.
传动部件速度具有从一个传动部分到另一个传动部分的协调能力,可调性强
5.
各独立硬件系统,软件上能实现独立控制
6.
输送皮带运输硅片