半干法烟气脱硫设备是湿法与干法相结合优化的方法;包括喷雾干燥法脱硫、循环流化床脱硫、半干半湿法脱硫、粉末-颗粒喷动床脱硫、烟道喷射脱硫、喷雾-喷动床半干法烟气脱硫等。
1、喷雾干燥法脱硫
喷雾干燥法脱硫也叫半干法洗涤脱硫，它是以石灰为脱硫剂，石灰加水制成消石灰浆，消石灰浆有泵打入雾化器，被雾化成细小液滴的吸收剂与烟气混合接触，与烟气中的SO2发生化学反应生成CaSO3，烟气中的SO2被脱除。与此同时，吸收剂带入的水分被速度适宜蒸干，烟气温度随之降低。脱硫反应产物及未被利用的吸收剂以干燥的颗粒物形式随烟气带出吸收塔，进入除尘器，被收集下来。脱硫后的烟气经除尘器除尘后排放。该法脱硫效率好，投资及运行费用较低、腐蚀小、系统简单、运行稳定、脱硫产物呈干粉状、无废水排放。
近十年来，国内喷雾干燥脱硫技术主要致力于提高吸收剂利用率的研究。方法是采用灰渣循环、利用添加剂、研制吸收剂等。
2、循环流化床脱硫
循环流化床(CFB)烟气脱硫技术是德国20世纪80年代后期设备的一种新型半干法技术。该工艺以循环流化床原理为基础，是一种基于流态化的脱硫工艺。
3、半干半湿法脱硫
半干半湿法烟气脱硫净化技术特点是采用石灰作为脱硫剂，循环利用脱硫灰中的碱性物质，具有运行费用低，水耗少，脱硫效率好和副产物可制新型建材等优点，适合电厂锅炉脱硫脱酸处理。
4、粉末-颗粒喷动床半干法烟气脱硫
粉末-颗粒喷动床(PP等)半干法烟气脱硫是近年来日本的研究人员设备的一种新型半干法脱硫技术。它是应用石灰石或消石灰做脱硫剂，利用研磨装置将脱硫剂研磨成几个或十几个微米的粉粒进行脱硫反应，虽然具有很高的脱硫率及脱硫剂利用率，但成本相应提高很多，不适合我国的国情。
5、烟道喷射半干法烟气脱硫
该方法利用锅炉与除尘器之间的烟道作为反应器进行脱硫，不需要另外加吸收容器，使工艺投资优良降低，操作简单，需场地较小，适合于在我国设备应用。半干法烟道喷射烟气脱硫即往烟道中喷人吸收剂浆液，浆滴边蒸发边反应，反应产物以干态粉末出烟道。
6、喷雾-喷动床半干法烟气脱硫
喷动床作为流态化技术的一个重要分支始于20世纪50年代初期的加拿大，起初是为干燥小麦等颗粒状的物料而设计的。随着对该技术研究的逐步深入，其应用行业不断扩展。和普通散式流化床相比，喷动床具有以下突出特点：颗粒流动简单、有规律，流化有力的；对粗颗粒，喷动床的气、液、固接触效率普遍优于普通流化床。
