科研真空探针台电信号测试 科
真空探针台:
可应用于高低温真空环境下被测样品的电学性能测试分析,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域。
科研真空探针台电信号测试
主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台,台面可升温到400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针,特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。
科研真空探针台电信号测试
该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达<5Pa分子泵可达<-3Pa。真空信号连接处使用级别真空电极信号接头,保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面,探针处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处,外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。