Verios XHR SEM
Verios
是
FEI
的
XHR（高分辨率）SEM
系列的第二代产品。在半导体制造和材料科学应用中，它可在
1
至
30 kV
范围内提供亚纳米量级分辨率以及增强的对比度，满足材料精密测量所需，同时又不会削弱传统扫描电子显微镜
(SEM)
所具有的高吞吐量、分析能力、样本灵活性和易用性等优势。
Verios
的材料科学应用
对材料科学家来说，Verios
可以将亚纳米表征拓展到当下正在开发的全新材料（例如催化剂颗粒、纳米管、孔隙、界面、生物对象和其他纳米量级结构），从而让他们获得重要的新发现。无需转而采用
TEM
或其他成像技术便可获得高分辨率、高对比度图像。Verios
可灵活用于各类研究应用，能够容纳全尺寸晶圆或冶金样本之类的大样本。您可以在高电流模式下执行快速分析，也可以开展精确的原型设计应用，例如电子束感应式材料直接沉积或光刻。
出色的低电压
SEM
分辨率和材料对比度
Verios
旨在增加您实验室的可发表成果。Verios
可以将
500 eV
到
30 keV
完整能量范围内的亚纳米级分辨率扩展到新型材料（例如催化剂颗粒、纳米管、孔隙、界面、生物对象和其他纳米量级结构）。无需转而采用
TEM
或其他成像技术便可获得高分辨率、高对比度图像。Verios
可灵活运用于各类研究应用，能够容纳全尺寸晶圆或冶金样品之类的大样品。您可以在高电流模式下执行快速分析，也可以开展精确的原型设计应用，例如电子束感应式材料直接沉积或光刻。
探索高分辨率
SEM
呈现的世界
Verios
是
FEI
的
XHR SEM
系列的第二代产品，通过
1
到
30 kV
能量范围的亚纳米级分辨率来提供准确成像。它能够在多种应用领域内提供精确测量材料所需的出色对比度，而不影响高通量、分析功能、样品灵活性和传统
SEM
的易用性。Verios
具备技术，例如可提高热稳定性的恒功率镜头以及可提高偏转线性的静电扫描。在选择参数、处理大样品或支持更多应用（如分析或光刻）方面，它非常灵活。借助
Verios XHR SEM，无论是临时用户还是专家，都能在短时间内获得准确、完整的纳米量级数据，发现以前使用其他技术时无法获得的信息。
