产品介绍
机电大信号应变和极化测量。
压电小信号系数和介电常数与直流偏置电压的关系。如果已知刚度值，则可以使用附加的aixPlorer软件工具从这些值得出耦合系数。
电气和机电性能疲劳。
作为电气薄膜测试的创新者，aixACCT Systems已将的双光束技术扩展到可商用的双光束激光干涉仪系统，该系统可进行长达8英寸的晶圆表征。用于测量d33的双光束激光干涉仪（aixDBLI）可提供经过验证的精度（x切割石英），可达0.2 pm / V。该系统的主要特点是单次测量的采集时间极短，仅为几秒钟。基于新的数据采集算法，测量速度提高了100倍。这使得比较了以相同激励频率记录的薄膜的电气和机械数据。由于差分测量原理，消除了样品弯曲的影响，这是使用原子力显微镜（AFM）进行此类测量的主要障碍。
产品参数
分辨率：1 pm通过x-cut Quartz测试
位移/应变测量：
50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
Max.25 V（可选）
压电d33系数：
偏压（1 mHz至1 Hz）：100 mV至10 V
Max.25 V（可选）
小信号（1 kHz至10 kHz）：100 mV至10 V
电致伸缩M33：与d33相似
C（V）测量：
偏压（1 mHz至1 Hz）：100 mV至10 V
Max.25 V（可选）
小信号（1 kHz至10 kHz）：100 mV至10 V
