美国 entegris 在线气体过滤器MAX HT
适用于高温、超纯气体应用的卓的越颗粒过滤。
1.专为高达 200°C (392°F) 的高温 TEOS 和高 k 应用而设计
2.整体设计（148 毫米 [5.82 英寸]）是类似过滤器的直接替代品
3.紧凑的尺寸适合许多现有的输送系统，并提供设计灵活性和多功能性
4.特殊烘烤可快速启动气体输送
5.低压差提供稳定且更好的物料输送
Wafergard® MAX HT 在线气体过滤器应用：CVD 工具使用点过滤器、热 N 2应用、TEOS 和高 k 等高温应用
美国 entegris 在线气体过滤器MAX HT
适用于高温、超纯气体应用的卓的越颗粒过滤。
1.专为高达 200°C (392°F) 的高温 TEOS 和高 k 应用而设计
2.整体设计（148 毫米 [5.82 英寸]）是类似过滤器的直接替代品
3.紧凑的尺寸适合许多现有的输送系统，并提供设计灵活性和多功能性
4.特殊烘烤可快速启动气体输送
5.低压差提供稳定且更好的物料输送
Wafergard® MAX HT 在线气体过滤器应用：CVD 工具使用点过滤器、热 N 2应用、TEOS 和高 k 等高温应用
