红外气体传感器 半导体行业薄膜沉积工艺

　　四方光电（武汉）仪器有限公司（以下简称“四方仪器”）为四方光电股份有限公司（代码688665）的全资子公司，成立于2010年，是一家专业提供气体成分及流量测量方案的高新技术企业，服务于环境监测、过程气体监测、智慧计量等领域。

　　基于四方光电核心气体传感技术平台的优势，四方仪器开发了系列非分光红外（NDIR）、紫外差分吸收光谱（UV-DOAS）、激光拉曼（LRD）、超声波（Ultrasonic）、热导（TCD）、光散射探测（LSD）等技术原理的气体成分流量仪器仪表，产品广泛应用于环境监测、冶金、煤化工、生物质能源等各个行业，在节能减排中发挥重要作用。四方仪器自主研发生产的便携式红外沼气分析仪、微流红外烟气分析仪、红外煤气分析仪曾相继获得国家重点新产品证书，红外煤气分析仪获得中国仪器仪表学会优.秀产品奖荣誉，其核心技术获得湖北省发明ZL金奖。四方仪器“微流红外烟气传感器研究及产业化”获得工信部2019年工业强基工程重点“产品、工艺”应用计划示范项目，公司获得应用计划示范企业。

　　四方仪器凭借长期的技术沉淀、严格的质量体系及国.际化视野，产品已出口多个国家和地区，正在朝着气体分析仪器仪表增值应用领域的优秀品牌迈进。