产 品 简介 ： GSL-1700X-SPC-2 小 型程序控温蒸发镀膜仪可对程序进行设 定 ， 并精确控制温度在 200ºC-1500ºC （或者 1200ºC-~1700ºC ）的范围内进行变化， 可蒸镀直径长达 2" 的薄膜样品， 在对样品进行 蒸发镀膜的过程中，样品台可进行旋转，以获得更均匀的薄膜。 GSL-1700X-SPC-2 小型程序控温蒸发镀膜 仪应用范围广，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜，因此被广泛用于电极的制备和有机物发光 LED 的制备。 GSL-1700X-SPC-2 小型程序控温蒸发镀膜仪体积小巧，可有效节约实验室空间；操作简单， 对不同材料的 适应性强，因此被广泛应用于各大高校和科研院所的实验室当中。
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产品名称 |
GSL-1700X-SPC-2 小型程序控温蒸发镀膜仪 |
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产品型号 |
GSL-1700X-SPC-2 |
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主要特点 |
1 、已通过 CE 认证。 |
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2 、采用石英腔体，易于清洁和样品的放入。 |
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3 、样品台可旋转，能够使所制薄膜达到更好的均匀性。 |
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4 、采用钨丝作为发热源，温度可达到 1700 ℃，并配有专用的氧化铝舟装载样品（仅 1600ºC 以 下使用， 若蒸发温度大于 1600ºC ，样品应直接放在钨丝篮中）。 |
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5 、热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制。 |
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6 、可将设备转换到手动调节状态， 内部不安装热电偶， 直接采用手动调节输出电流大小， 发 |
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热源温度可达 2000ºC ，可达到对样品镀碳等实验要求。
7 、可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜。 |
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8 、进气口配有针阀，用于调节进气流量。 |
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技术参数 |
1 、电压： AC 208V-220V 50Hz/60Hz 单相
2 、 Max 功率： 500W ， Max 大电流为 30A
3 、真空腔体：石英腔体，直径 Ø6"
4 、样品台： 直径 Ø50mm ；可旋转， 转速 5rpm ；与蒸发源间距可调， 调节范围 60mm-100mm
5 、 Max 温度： 1700ºC
6 、热电偶： S 型热偶， 工作温度 200ºC-1500ºC （可选用 B 型热偶， 工作温度 1200ºC-1700ºC ）
7 、控温精度：± 1ºC ，数显温度控制器， 可设置 30 段升降温程序
8 、钨丝篮： 2 个 |
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9 、真空接口： KF40
10 、真空计： 数显防腐真空计 PCG554 ，测量范围 3.8 × 10 -5 -1125torr
11 、进气接口： 1/4NPS |
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产品规格 |
尺寸： 440mm × 330mm × 630mm
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可选配件 |
1 、机械泵（带油污过滤器 ）（ 真空度 <10 -2 torr ，可以蒸发贵金属， 如 Au 、 Ag ） 2 、分子泵（可获得高真空，真空度 <10 -5 torr ，蒸发易氧化材料， 如 Al 、 Mg 、 Li 等）
3 、低真空系统 |
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4 、高真空系统 |
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5 、等离子清洗机（镀膜前对基片进行清洗，可获得更好的薄膜强度） |
