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分子泵组应用于低温真空探针台

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公司名称伯东企业（上海）有限公司
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所在地深圳市
厂商性质代理商
更新时间2025/5/28 10:21:06
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公司介绍主营产品

伯东企业(上海)有限公司(德国Pfeiffer中国华东华南代理)www.hakuto-vacuum.cn，专业销售及维修德国Pfeiffer氦质谱检漏仪及分子泵、旋片泵、罗茨泵、真空规管、质谱仪等真空产品。维修技术力量雄厚，保证 100 % 拥有标准的德国Pfeiffer原厂测试设备及调整工具和德国Pfeiffer专业培训工程师，多年来致力于真空系统的安装、调试、维修、拆机、保养等，具有优良的专业技能和服务意识，并获得原厂*维修资质证书。利用 Pfeiffer 进口检测设备对维修后的产品做*性能测试。

伯东企业(上海)有限公司(德国普发中国区总代理)是一家专业代理公司，专业代理德国Pfeiffer 真空产品。主要经营涡轮分子泵(分子泵 Hipace10-700 l/s系列、TMH/U、 TPH/U之分子泵 10-500 l/s系列、分子泵 1000-2000 l/s系列及全磁浮分子泵 magnetic turbo pump系列)、分子泵机组、分子泵附件、机械泵(单、双级旋片泵、罗茨泵)、油泵、干泵(隔膜泵、Xtradry)、氦质谱检漏仪、质谱仪(残余气体分析质谱系列和常压分析质谱系列)、真空计、真空配件(连接零部件、密封件、法兰、管件、波纹管、转接头)、真空阀门和分子泵*油(P3油、F4/F5油、D1油)等产品。

同时，我公司作为德国普发在中国**Pfeiffer维修中心，在上海、深圳、中国台湾、日本、泰国、香港等地均设有Pfeiffer 正式*维修服务网点，保证 100 ％德国 Pfeiffer 原厂部件和受德国Pfeiffer专业培训的工程师，并用 Pfeiffer 进口检测*设备对维修后的产品做全方面的性能测试，为您提供从配件到维护合同的标准化服务体系。

我公司秉承较早、Z快、Z及时的基本原则，为客户提供优质的产品和周到的服务。伯东公司愿意与世界各地的客户联手合作，共建一个诚信、发展、共同进步的良好环境。

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德国 Pfeiffer 真空泵，氦检漏仪,分子泵，质谱仪，真空规管，真空阀门及美国Brooks 旗下CTI Cropump 冷凝泵/低温泵， Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源，PLD镀膜机

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分子泵组应用于低温真空探针台

分子泵组应用于低温真空探针台产品信息

Pfeiffer 分子泵组应用于低温真空探针台
真空探针台一般用于复杂, 高速精密器件进行表面观测以及各种性能测试的仪器, 通过测试可以保障产品的质量和可靠性并缩减研发时间和器件制造工艺的成本. 探针台主要应用于半导体行业, 光电行业, 集成电路以及封装的测试

为什么需要真空环境?
1. 真空探针台通过搭配分子泵组, 配合真空吸附卡盘及真空吸附探针座的使用, 通过空气压缩, 固定样品及探针座.
2. 由于晶圆在超低温情况下进行探测, 水气将会出现并且将会冻结晶圆. 水气会影响测量, 导致测量失败. 真空腔中的水气需要通过真空泵排出.
3. 当晶圆加热超过 300摄氏度, 400摄氏度, 500摄氏度或者更高温度时, 会发生很强烈的氧化. 温度越高, 越加大硅片表面的氧化, 氧化将使晶圆降低电学性, 物理性和机械性. 真空腔中的氧气需要通过分子泵组来排出.

上海伯东涡轮分子泵组应用于低温真空探针台客户案例: 某企业通过上海伯东推荐采购德国 Pfeiffer 经济型分子泵组 HiCube 80 Eco, 分子泵与隔膜泵结合, 整机设计, 即插即用, 提供清洁, 低振动, 稳定的高真空环境.

上海伯东 Pfeiffer 普发分子泵组 HiCube Eco 技术规格

泵组型号	进气法兰	分子泵型号	抽速氮气l/s	极限真空 hPa	前级泵型号	前级泵抽速 m³/h
Hicube 80 Eco	DN 40 ISO-KF	HiPace 80	35	1X10-7	MVP 015-2	0.5
	DN 63 CF-F	HiPace 80	67	1X10-8	MVP 015-2	1
	DN 63 ISO-K	HiPace 80	67	1X10-7	MVP 015-2	1

Pfeiffer 涡轮分子泵组整体模块化设计, 内部集成前级泵和分子泵, "即插即用", 抽速范围 35 至 685 L/S, 极限真空 5X10-10 hPa, 提供经济型分子泵组 ECO, 标准型分子泵组 Classic 和高性能涡轮分子泵组 Pro 满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 真空计共同使用.

鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶女士中国台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161
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