高纯氩广泛应用于电子、冶金、机械、高纯材料和仪器分析等产业部门和科学研究中。为直读光谱仪、等离子光谱仪、辉光光谱仪、定氢仪和单晶硅、光电材料生产等提供稳定的高纯氩气。
主要技术指标
1、输入原气
本纯化装置允许原料氩气中的氧含量≤3000ppm、N2≤200ppm、水≤1000ppm（即露点低于-2 0 ℃），一般瓶装纯氩均能满足这些要求。
2、输出纯气
纯气的大输出能力为4m³/h
纯气中杂质含量：O2≤0.2ppm N2≤0.2ppm
H2O≤1ppm 即露点≤-76 ℃
C的氧化物≤0.1ppm S、P的氧化物≤0.1ppm
尘埃粒子数（≥0.3µm）3-5个/升，即100级
3、工作条件
工作压力≤1.0MPa
催化塔工作温度 260℃ 吸附塔工作温度 室温
合金吸附塔工作温度 300℃ 吸附塔再生温度 400℃
再生用气量 500ml/min
4、电源
电压 220V 催化塔 0.6kw 吸附塔工作时 0kw
合金吸附塔工作时0.6kw 再生时 1kw
5、外形和重量
450mm×635mm×1210mm 130kg
