EMS 7620是一款紧凑、实惠型SEM离子溅射镀膜仪，镀碳附件EMS7620-CF作为可选件为镀碳时所需。该款设备具备辉光放电功能，这对于TEM的碳膜或其它材料样本表面修饰非常有帮助。
特征：
- 价格实惠
- 操作简单
- 磁控管溅射头
- 结构坚实
- 碳丝蒸发可选
- 样本台高度可调
- 靶材更换简便，金/钯为标配靶材
- 符合的安全规程要求，具备主动电气连锁功能，确保操作安全
- 三年质保
规格参数：
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整机尺寸
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340mm W x 130mm D x 250mm H （unpacked）不包括腔室
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现场条件：
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电气要求
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240VAC - 13A, 频率50Hz，额定功率250VA,真空泵的额定输出是230V 、10A
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溅射气体
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氩气（零级），配有二级压力调节器，工作气体压力在5-10psi
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真空泵
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真空压力不低于10-2mbar ，流量50L/m 或 90L/m 的二级旋转真空泵
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碳蒸发附件（可选）
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EMS 7620-CF 碳蒸发附件与EMS7620可以配套使用
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货号
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产品
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规格
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EMS 7620
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EMS 7620 迷你型离子溅射镀膜仪EMS 7620 “Mini” Sputter Coater
包含： 91017-AP gold/palladium （Au/Pd） target, 1m length of 12mm bore flexible vacuum hose, 1 x KF25 hose adapter flange and fittings to fit a rotary pump, 1 x rotary pump plug, comprehensive operating instructions
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each
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91017-Au
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金靶Gold （Au） target
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each
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91017-AP
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金钯Gold/palladium （Au/Pd） target
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each
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91017-Pt
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铂靶Platinum （Pt） target
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each
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91017-Ag
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银靶Silver （Ag） target
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each
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91017-Pd
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钯靶Palladium （Pd） target
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each
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91017-.2-Au
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金靶Gold target （Au） 0.2mm thick
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each
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91017-.2-AP
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金钯Gold/palladium （Au/Pd） target 0.2mm thick
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each
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91017-.2-Pt
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铂靶Platinum （Pt） target 0.2mm thick
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each
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91003
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爱德华旋转真空泵RV-3 two-stage rotary pump with oil mist filter （115/230V 50/60Hz）
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each
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96000
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Replacement oil mist filter
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each
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91040
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碳蒸发附件（镀碳时选用）Carbon evaporation attachment — EMS 7620
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each
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