温室气体指的是大气中能吸收地面反射的长波辐射,并重新发射辐射的一些气体,如水蒸气、二氧化碳、大部分制冷剂等。它们的作用是使地球表面变得更暖,类似于温室截留太阳辐射,并加热温室内空气的作用。这种温室气体使地球变得更温暖的影响称为“温室效应"。我们都知道二氧化碳是主要的温室气体,目前人类都在控制碳排放,但是温室气体可不只是二氧化碳一种,在北极冻土层,就有许多甲烷气体,甲烷的温室效应是二氧化碳的许多倍,现在科学家们又发现了一种新的温室气体三氟化氮,在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。
三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用,1960年,三氟化氮作为一种实验火箭燃料被应用。随后它被用于美国星球大战防御系统的化学激光。三氟化氮主要用于在平板显示、集成电路和光伏太阳能的生产过程中。美国加利福尼亚大学环境学院主任迈克尔·普拉瑟曾表示,三氟化氮是一种温室气体,一旦排入大气,会存在大约550年,影响“持续数百年才能消除"。
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