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真空泵真空区域的划分
| 真空区域 | 压强范围 | |
| 托（Torr） | 帕（Pa） | |
| 低真空 | 760~10 | 101325~1333 |
| 中真空 | 10~10-3 | 1333~1.33×10-1 |
| 高真空 | 10-3~10-8 | 1.33×10-1~10-6 |
| 超高真空 | 10-8~10-12 | 10-6~10-10 |
| *真空 | ＜10-12 | ＜10-10 |
对于需要配前级泵的抽气机组，主泵选完之后，重要的问题是如何选配合适的前级泵和预抽泵。选配前级泵的原则是：
（1）前级泵在主泵出口处造成的压力应低于主泵的大排气压力
（2）前级泵应保证始终及时排出主泵所排出的气体流量。
（3）兼作预抽泵的前级泵要满足预抽时间及预抽真空度的要求。
根据主泵的工作特性不向，配泵可分为两种情况：一种是主泵需要配前级泵，如扩散泵、分子泵等；另一种是主泵只需要配预抽真空泵，而不需要配前级泵，如各种吸附冷凝泵等。
主泵配前级泵计算时，需要前级泵在主泵出口处形成的压力始终低于该泵的大排气压力，主真空泵才能正常工作。普通的油扩散泵的大排气压一般为26~40Pa左右；油增压泵的大排气压力一般为130~260yPa左右。
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