牛牛天天人人综合影院 半导体制造：高精度高低温一体机如何保障芯片制程稳定性？

精准控温，奠定制程基础

芯片制造涵盖光刻、蚀刻、沉积等众多复杂工序，每个环节对温度都极为敏感。例如，光刻工序中，光刻胶的感光特性与曝光时的温度紧密相关，温度偏差可能导致光刻图案变形，影响芯片的线路精度与集成度。高精度高低温一体机运用温度传感技术，能精确感知测试空间内的温度变化，配合精密的 PID 控制算法，将温度控制精度稳定在 ±0.1℃甚至更高水平 。这种精准控温能力确保了各制程环节在恒定且适宜的温度下进行，有效减少因温度波动引发的制程偏差，保障芯片制造的一致性与可靠性。

快速升降温，适配制程节奏

均匀温场，消除制程隐患

芯片制程中，测试空间内的温度均匀性至关重要。若存在温度不均匀，芯片不同部位经历的热环境有差异，会导致材料性能不一致，出现芯片局部性能异常。高精度高低温一体机通过精心设计的风道结构和循环系统，使热气流或冷气流在测试空间内均匀分布，确保温度均匀性达到 ±1℃以内 。以芯片老化测试为例，均匀的温场能让芯片各区域得到同等程度的老化，真实反映芯片整体性能，有效避免因局部过热或过冷导致的测试误判，保障只有性能稳定的芯片进入下一制程环节。

多重防护，护航制程安全