甲醛（CH2O）
也叫蚁醛，无色有刺激性气味的气体，对人眼、鼻等有刺激作用。主要来源于建筑材料、家具制造、化妆品等，长期接触可能导致癌症。
甲醛接触限值
室内环境：根据中国的《室内空气质量标准》(GB/T 18883-2002)，室内甲醛的浓度限值为 0.1mg/m³，换算后约为 0.08ppm
按照住房和城乡建设部颁布的要求，房屋装修后强通风后封闭1小时，甲醛释放数值每立方米小于或等于 0.1mg 则属于标准范围，即约 0.07ppm
工作场所：美国政府工业卫生学家会议(ACGIH)规定的甲醛阈限值为 2ppm，这是指在该浓度下，几乎所有工人日复一日反复暴露都不致受到不良影响.
对敏感人群的建议：孕妇和小孩等抵抗力较弱的人群，室内甲醛浓度标准应在 0.06mg/m³ 以下，即约 0.05ppm
22.苯（C6H6）
无色透明液体，具有特殊芳香气味，易挥发为有毒气体。多来自石油化工、溶剂、塑料生产等，长期接触会影响骨髓，导致再生障碍性贫血，甚至增加白血病风险。
接触限值：根据 2022 年 11 月 8 日国家卫生健康委员会发布的 GBZ 2.1—2019《工作场所有害因素职业接触限值 第 1 部分：化学有害因素》第 1 号修改单，苯的时间加权平均容许浓度(PC-TWA)为 3mg/m³，短时间接触容许浓度(PC-STEL)为 6mg/m³ 。换算后 PC-TWA 约为 0.95ppm，PC-STEL 约为 1.9ppm
23.光气（COCL2）
无色气体，有烂干草或烂苹果味。在光气生产、氯代烃高温燃烧、光气有机合成及制造染料、农药、医药等生产中可接触到，主要引起呼吸道粘膜刺激症状，重者可引起支气管痉挛、化学性炎症、肺水肿、窒息等。
接触限值：根据《工作场所有害因素职业接触限值 化学有害因素》(GBZ 2.1-2007)，光气的最高容许浓度(MAC)为 0.5mg/m³，换算后约为 0.29ppm
24.氰化氢（HCN）
一种剧毒气体，有苦杏仁味。常用于化工生产、金属提炼、塑料制造等，会抑制细胞呼吸，导致头痛、呼吸衰竭，严重时可致死。
接触限值：最高容许浓度为 0.3mg/m³，换算后约为 0.11ppm；有限空间作业安全指南：时间加权平均浓度限值为 5ppm，短时暴露限值为 10ppm
25.硅烷（SiH4）
硅烷是一种有毒、易燃的气体。它在空气中能自燃，燃烧产物为二氧化硅和水。硅烷对人体的呼吸道、眼睛和皮肤有强烈的刺激作用。吸入高浓度硅烷会引起头痛、头晕、呼吸困难等症状，严重时可导致肺水肿和化学性肺炎。
在光伏产业中，硅烷是一种重要的气体。它主要用于半导体和光伏电池制造过程中的化学气相沉积(CVD)工艺，例如多晶硅薄膜的制备。在这个过程中，硅烷在高温和特定的反应条件下分解，沉积在基底材料上形成硅薄膜。
26.磷烷（PH3）
磷烷是一种剧毒气体，有类似于大蒜的气味。它主要影响人体的呼吸系统和神经系统。吸入磷烷后，会引起咳嗽、呼吸困难、头晕、乏力等症状。高浓度的磷烷会导致严重的中毒反应，如肺水肿、抽搐甚至死亡。
在光伏电池制造中，磷烷用于掺杂工艺，特别是在 N - 型半导体材料的制备过程中。它与硅等半导体材料发生反应，将磷原子引入材料的晶格结构中，以改变材料的电学性质。
接触限值：
工作场所职业接触限值：在中国，磷烷(磷化氢)的时间加权平均容许浓度(PC - TWA)为 0.3mg/m³。按照理想气体状态方程进行换算(在标准状况下，1mg/m³ 约等于 0.73ppm)，约为 0.22ppm。这意味着在正常工作环境下，长期接触磷烷的浓度平均下来应控制在这个限度以下，以保障工作人员的健康。
短期接触限制：、磷烷的短时间接触容许浓度(PC - STEL)为 0.6mg/m³，约合 0.44ppm。这表示在短时间(15 分钟)内，人体可承受的磷烷浓度一般不超过这个数值。当超过这个浓度时，可能会对人体产生不良影响。
立即威胁生命和健康浓度（IDLH）：对于磷烷而言，其 IDLH 值为 200ppm。这是一个非常危险的浓度界限，当环境中的磷烷浓度达到或超过这个值时，会对生命和健康造成直接的、严重的威胁，接触者可能会在短时间内出现严重的中毒症状，甚至死亡。在这种情况下，必须立即采取紧急救援措施，如使用自给式正压呼吸器等进行逃生。
27.氯气（CL2）
氯气是一种具有强烈刺激性气味的剧毒气体。它对人体的呼吸道、眼睛和皮肤有严重的刺激作用。吸入氯气后，会引起咳嗽、呼吸困难、胸闷、眼睛刺痛等症状。高浓度的氯气吸入会导致肺水肿和呼吸衰竭。
在光伏产业的一些清洗和蚀刻工艺中可能会用到氯气。例如，在对硅片等材料进行清洗以去除表面的杂质和污染物，或者在蚀刻工艺中用于选择性地去除某些材料层时，氯气作为一种强氧化剂被使用。
接触限值：《工作场所有害因素职业接触限值 化学有害因素》(GBZ2.1-2007)中规定，氯气的最高容许浓度(MAC)为 1mg/m³，换算下来越0.315PPM
28.氯化氢（HCL）
氯化氢是一种有刺激性气味的酸性气体，对人体的呼吸道、眼睛等有强烈的刺激作用。吸入高浓度氯化氢会引起咳嗽、喉咙疼痛、呼吸困难等症状，严重时可导致化学性肺炎和肺水肿。
在光伏电池制造的蚀刻工艺中，使用盐酸等含氯的化学试剂进行蚀刻反应后，会产生氯化氢气体。例如，在硅片蚀刻过程中，当使用盐酸与其他物质反应来去除硅片表面的特定材料层时，反应的副产物之一就是氯化氢。
接触限值：《工作场所有害因素职业接触限值 化学有害因素》(GBZ 2.1-2007)中规定氯化氢的最高容许浓度(MAC)为 7.5mg/m³ ，换算后约为 4.5ppm
29.氟化氢（HF）
氟化氢是一种剧毒气体，对人体的呼吸道、眼睛和皮肤有强烈的腐蚀作用。它能与人体内的钙、镁等元素结合，导致血钙降低等生理异常。吸入高浓度氟化氢会引起咳嗽、呼吸困难、胸痛等症状，皮肤接触会导致严重的灼伤。
在光伏行业的硅片清洗和蚀刻过程中，氢氟酸是一种常用的化学试剂。它用于去除硅片表面的二氧化硅层等杂质。在使用过程中，氢氟酸会挥发产生有毒的氟化氢气体。
接触限值：根据《工作场所有害因素职业接触限值 化学有害因素》(GBZ 2.1-2019)，氟化氢(按 F 计)的最高容许浓度(MAC)为 2mg/m³，换算后约为 1.19ppm
