SCI-552是臭氧输送系统的控制器，能够为很多系统部件提供电气控制界面，包括：臭氧发生器、EV阀、质量流量计、背压控制器、TAPI 452臭氧传感器、 TAPI 470 溶解臭氧传感器和水冷却器。
SCI-552基于软硬件特点，提供了很多系统联锁功能，它灵活性高，允许用户通过前面板用户界面、MODBUS串行接口或各种离散型数字和模拟输入来控制整个系统。SCI-552能够支持两台臭氧发生器并提供两条独立的臭氧输出渠道。
特点RS-232 MODBUS远程支持
可以控制两台臭氧发生器
可以控制两台452和470臭氧传感器
交互
可以控制四台质量流量计
可以控制两台背压控制器
可以控制两个EV阀
可以控制一台水冷却器
系统联锁输入
远程系统级别控制和状态输入/输出
运用
化学气相沉积(CVD)
原子层沉积(ALD)
氧化物生长
表面处理
灰化
粒子清洁
光刻胶去除
其他
规格
显示：2 行 x 40 字母、数字、真空荧光
分辨率：0.01% w/w
周期：不间断测量,每2秒或0.5 Hz刷新
数字I/O: RS-232 C, 双向
装置I/O 发生器支持:能够支持两台臭氧发生器，工业标准引出线
质量流量计控制: 4 - DB-9 连接体，支持四台质量流量计
背压控制器:2 - DB-15 连接体，支持两台电子背压调节器
臭氧发生器: 2 - 10 针IDC，支持两台臭氧发生器
EV阀: 2 - 2 针连接体 - 24 VDC
冷却器：1 - DB-15 冷却器连接体
客户系统I/O联锁:1- 系统硬件联锁
1 - 通讯联锁
(可用户配置)1 - 软件联锁 (背压)
串行数字：RE-232, DB-25 (Modbus标准 -可选其他选项)
AC电源: 90到240VAC, 50/60 Hz
典型功率: 低于225 W
尺寸 (宽 x 高 x 长)：19" x 7" x 9"
(48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)
重量：10.9 磅 (4.94 千克)
环境：只为室内应用而设计
运行温度：5 - 35˚C
相对湿度：80%, 无冷凝
保修：1 年
认证：CE
