FINDER机械泵详细组成部分解刨
FINDER机械泵由电机和泵体两大部分组成。普通型机械泵由电机通过皮带带动泵轴旋转；直连型FINDER机械泵是电机直接与泵轴连接，无中间传动环节。FINDER机械泵是利用气体膨胀、压缩、排出的原理，把气体从容器里抽出的。之所以称之为机械泵，是因为它是利用机械的方法，周期性地改变泵内吸气腔的容积，使容器中的气体不断地通过泵的进气口膨胀到吸气腔中，然后通过压缩经排气口排出泵外。改变泵内吸气腔容积的方式有活塞往复式、定片式和旋片式，分别称为往复式机械泵、定片式机械泵和旋片式机械泵。由于实际应用中，旋片式机械泵使用较多，现以旋片式机械泵为例说明其工作原理。
FINDER旋片机械泵的结构主要由圆柱空腔定子、偏心转子、旋片、弹簧、顶盖和排气阀等零件组成。偏心转子的顶端始终保持与泵体定子内腔接触，当偏心转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。转子上开有两个滑槽，分别安装一个旋片，中间有一个弹簧，当旋片随转子旋转时，借助弹簧张力和离心力，使两旋片紧贴在定子内壁滑动。整个空腔放在油箱内。
FINDER齿轮式机油泵由主动轴、主动齿轮、从动轴、从动齿轮、壳体等组成，两个齿数相同的齿轮相互啮合，装在壳体内，齿轮与壳体的径向和端面间隙很小。主动轴与主动齿轮键连接，从动齿轮空套在从动轴上。
工作时，主动齿轮带动从动齿轮反向旋转。两齿轮旋转时，充满在齿轮齿槽间的机油沿油泵壳壁由进油腔带到出油腔，在进油腔一侧由于齿轮脱开啮合以及机油被不断带出而产生真空，使油底壳内的机油在大气压力作用下经集滤器进入进油腔，而在出油腔一侧由于齿轮进入啮合和机油被不断带入而产生挤压作用，机油以一定压力被泵出。
FINDER齿轮式机油泵结构简单，机械加工方便，工作可靠，使用寿命长，应用较广泛。
⑴FINDER机械泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
⑵了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择FINDER机械泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
⑶FINDER机械泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
⑷正确地组合FINDER机械泵。由于FINDER机械泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的FINDER机械泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的FINDER机械泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
⑸真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
在FINDER机械泵中FINDER机械泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。
这是FINDER机械泵油的zui重要的性能，由于FINDER机械泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散FINDER机械泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
FINDER机械泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
FINDER机械泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求FINDER机械泵油具有良好的热氧化安定性。
FINDER机械泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起FINDER机械泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
主要要求FINDER机械泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。
极限压力是FINDER机械泵油重要的使用性能指标以了解在zui低真空极限压力下FINDER机械泵的极限压力。
