男女呻吟久久免费视频 日本motoyama薄膜晶体制造设备LPE炉技术

【资料简介】

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设备概述

LPE（液体，相位，外延）薄膜晶体制造设备在日本拥有100多个单位。 它由高精度垂直管式炉，旋转升降驱动轴和控制单元组成，控制单元具有*的温度控制精度，可实现高效的薄膜晶体生产。

特征

• 优异的均热特性
• 高精度样品轴旋转升降驱动机构
• 也可以添加到现有的熔炉中（有限制）

选项

• 惰性气体引入机制
• 液体接触电信号
• 排气罩
• 根据实际制造过程进行计算机自动操作控制（也可以中断手动操作）

通过预先输入过程详细信息，将以确定的值自动执行目的地，移动速度，旋转状态和旋转速度。

LPE薄膜晶体制造设备规格
加热器容量	单相200V 2.3kW x 3个区域
加热室尺寸 　直径x高度mm	φ280×H650毫米
常温	800℃〜900℃
z高温度	1000℃
温度分布	±2℃（空气炉稳定在850℃时，φ100×H200mm的空间）
温度波动范围	±0.2℃（空气炉稳定在850℃时，φ100×H200mm的空间）
加热元件	SSS加热器
芯管	φ220×φ205×L800mm

LPE熔炉驱动单元（样品轴）规格
提升速度	20-300毫米/分钟
停止精度	±1mm以内
旋转方式	前进/后退
转速	20-300 rpm（带软启动）
转速波动精度	在±1％FS之内