一、平面布置方式
外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。
内廊式：净化车间设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度级别一般都较高，甚至和洁净室同级。
两端式：洁净区设在一边，另一边设准洁净和辅助用房。
核心式：为了节约用地、缩短管线，可以洁净区为核心，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来，这种方式避开室外气候对洁净区的影响，减少了冷热能耗，利于节能。
二、人身净化路线
为了在操作中尽量减少人活动产生的污染，人员在进入洁净区之前，必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒。这些措施即“人身净化”简称“人净”。
人净用房中更换洁净服的房间应予送风，并对入口侧等其他房间保持正压，对厕所、淋浴保持少许正压，而厕所、淋浴应保持负压。
三、物料净化路线
各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理，简称“物净”。
物料净化路线与人净路线应分开，如果物料与人员只能在同一处进入洁净室，也必须分门而入，物料并先经过粗净化处理。
对于生产流水线不强的场合在物料路线中间可设中间库。
如果生产流水线很强，则采用直通式物料路线，有时还需要在直通路线中间设多次净化、传递设施。
在系统设计上，物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒，所以相对洁净区应保持负压或零压，如果污染危险性大则对入口方向也要保持负压。
四、厂房布置：
厂房布置通常采用集中式布置和分散式布置两种形式，厂房布置主要有平面布置和立面布置。厂房的平面布置主要是确定厂房面积和柱网布置，包括：生产区域的划分、生产线的组织、厂房面积的组成。
厂房平面布置的要求：
a. 合理规划厂房出入门口、通道、楼梯和过桥的位置
b. 各种地下建筑物如排水沟、电缆沟、工艺设备管道的地沟、地坑等应统一考虑。合理安排，节约基建工程量，并且避免与建筑物基础及设备基础发生矛盾
c. 厂房平面布置应力求规整
d. 根据生产过程的特点和要求，有些工序需留足必须的储存、堆放面积
e. 厂房立面布置即空间布置，主要确定厂房的高度和层数，厂房立面布置应力求简单，避免层数过多和层高过高，厂房的立面布置应注意整齐、美观。
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