产品参数
产品型号：SJ6000
产品名称：SJ6000激光干涉仪
稳频方式：双频激光热稳频
稳频精度：0.05ppm
线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃
线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）
角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
测量分辨力：1nm
动态采集频率：50KHz
预热时间：≤6分钟
工作温度范围：（0-40）℃
环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%
主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便
产品特点
SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现垂直度、平行度、角度、直线度、线性测长、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台
产品优势
1）精度高
SJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗力强、长期稳定性好的激光频率输出；干涉镜与主机分离设计，保证了干涉光路稳定可靠；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿。
2）功能广
- 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
- 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
- 可实现对机床回转轴的测量与校准；
- 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
- 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
- 支持手动或自动进行环境补偿。
- 友好的人机界面；
- 丰富的应用功能模块；
- 向导式的操作流程；
- 简洁化的记录管理；
- 支持中文、英文和俄文界面；
- 支持企业专属模板定制。
内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
应用案例
测量机床回转轴精度
测量机床直线度
数控机床精度校准
在这些测量中，除了应用激光干涉传感器测定工作台（或测杆）位移外，还需有相应的瞄准装置。常用的有光电显微镜瞄准（应用于线纹尺及某些工件尺寸和坐标位置测量），白光干涉瞄准（用于量块检定）及接触瞄准（用于一般精密量块及工件尺寸和坐标位置测量）。激光干涉传感器还可应用于精密定位，如精密机构加工中的控制和校正、感应同步器的刻划、集成电路制作等的定位。
此前，国产与国外的产品有着一定的差距，SJ6000激光干涉仪型号的推出打破了这一局面，降低了企业的检测成本。在测量精度、测量速度、测量类型等方面，SJ6000激光干涉仪为用户提供了选择。
