激光干涉仪原理
单频激光干涉仪是干涉位移精密测量的重要方法，具有大量程、纳米级分辨率、波长溯源等典型优点，但因为单频激光干涉仪是直流测量系统，必然具有直流光平和电平零点漂移的弊端。针对这种状况，中图仪器研发生产出单频激光干涉仪 ——SJ6000激光干涉仪。
SJ6000激光干涉仪
SJ6000激光干涉仪作为单频激光干涉仪，是在一般单频激光干涉仪基础上发展的一种外差式干涉仪，也叫双频激光干涉仪。是用频率为几兆赫的交流信号作为干涉信号，这样当可动反射镜移动的时候，干涉信号根据多普勒效应原理，原有的交流信号频率增加或减少了A/，结果依然是一个交流信号。这样，即使光强大幅度衰减，G仍可得到合适的电信号。同时不仅能进行动态高速测量，还能组合相应的功能模块元件测量振动幅度、角度、线速度、平面度等，可以弃普通车间进行应用，环境适应能力强。
数控机床精度校准
测量机床回转轴精度
测量机床直线度
产品参数
稳频方式：双频激光热稳频
稳频精度：0.05ppm
线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃
线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）
角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
测量分辨力：1nm
动态采集频率：50KHz
预热时间：≤6分钟
工作温度范围：（0-40）℃
环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%
主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便
产品功能特点
1）功能广
- 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
- 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
- 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
- 可实现对机床回转轴的测量与校准；
- 可实现龙门机床双轴同步测量；
- 支持手动或自动进行环境补偿。
- 采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；
- 干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠；
- 采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗力强、长期稳定性好的激光频率输出。
- 简洁化的记录管理；
- 向导式的操作流程；
- 丰富的应用功能模块；
- 友好的人机界面；
- 支持中文、英文和俄文界面；
- 支持企业专属模板定制。
配件与证书
中图仪器坚持以技术创新为发展基础，现有员工200余人，集光、机、电、信息技术于一体的*技术团队，致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。产品已广泛应用于计量质量检测机构、汽车、机械制造、半导体加工、3C电子等行业，在精密测量、计量检测领域的技术进步做出了应有的贡献。未来，中图仪器仍将继续专注于未来！
