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在线预清洗设备：
可实现37纳米以下少于15个剩余颗粒或28纳米以下
20-25个剩余颗粒
金属污染可控制在1E+8（原子/平方厘米）以内
当配置4个腔体的时候，产能可达每小时35片晶圆
离线预清洗设备：
可实现37纳米以下少于15个剩余颗粒或28纳米以下
20-25个剩余颗粒
占地面积小
可配置四个装载端口
占地面积小
可配置四或六个腔体，分别为两个软刷和两个清洗腔体或两个软刷和四个清洗腔体
可实现37纳米以下少于15个剩余颗粒或28纳米以下20-25个剩余颗粒
产能可达每小时60片晶圆
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环保在线