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山东优云谱光电科技有限公司
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- 网址：
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产品简介
| 工作电压 | AC 220V±15% | 各路耐压 | 1 MPa |
|---|---|---|---|
| 稀释比 | 1000:1 | 各路 MFC 读数精度 | ±0.8% Rdg |
| 各路 MFC 满量程精度 | ±0.2% FS | 各路 MFC 重复性 | ＜±0.2% FS |
高精度、高分辨率控制
低功率（功率大小取决于配气路数）
各路 MFC 集成 20 种基础气体种类
各路 MFC 可自定义 10 种混合气体（20 种基础气体种类按比例混合）
数字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式
产品介绍
一、气体动态稀释仪特点
高精度、高分辨率控制
低功率（功率大小取决于配气路数）
各路 MFC 集成 20 种基础气体种类
各路 MFC 可自定义 10 种混合气体（20 种基础气体种类按比例混合）
数字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式
宽流量量程范围
无需预热
无安装方向限制
具有高重复性和高可靠性
采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快
自带温度补偿，补偿范围 0-50℃
内部闭环控制，具有高稳定性
小封装尺寸
二、气体动态稀释仪量程及精度简介
稀释比：最高 1000:1（更高稀释比建议咨询厂家）
各路 MFC 满量程精度：±0.2%
各路 MFC 读取精度：±0.8%
各路 MFC 可重复性：±0.2%FS
各路 MFC 响应时间：＜100ms（调节 PID控制参数可缩短响应时间），数字式设计简介
动态稀释仪内部配置了高精度质 量流量控制器（MFC），各路 MFC 标配高精度传
感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。质量流量控制器采用标准的RS-485 Modbus RTU 通信模式。
三、应用领域
气相和液相色谱仪
半导体工艺
环境监测设备
微反应装置及材料制备实验装置（CVD）
气体发生器
配气混气系
四、功能介绍
流量控制 ---可实现高精度、高重复性、多种气体质量流量控制。
独立使用 ---无需连接任何设备，可通过屏幕完成大部分功能操作。
多种量程选择 ---根据稀释比需求各路 MFC 量程最小量程 10sccm，最大量程 50slpm 可选。
内置 20 种基本气体 ---各路 MFC 内置 20 种基本气体，气体种类可定制。
10 种自定义混合气 ---各路 MFC 可根据使用需求，自定义混合气。
电气接口 ---标准配置 1 个 AC220V 三项插座
控制方式 ---屏幕使用 RS-485 通信与内部 MFC 进行通信。
标准 Modbus-RTU ---RS-485 通信采用标准 Modbus-RTU 通信协议。
五、技术参数
1.运行参数
各路 MFC 读数精度 ±0.8% Rdg
各路 MFC 满量程精度 ±0.2% FS
各路 MFC 重复性 ＜±0.2% FS
各路 MFC 零点漂移和满量程漂移 ＜±0.02% FS/℃/Atm
稀释比 1000:1
各路 MFC 典型响应时间 ＜100 毫秒（可调节 PID 参数达到更短时间）
各路 MFC 启动预热时间 ＜1 秒
各路 MFC 标准工况 20℃&101.325kPa（标准工况温度可通过 RS485 调整）
各路耐压 1 MPa
安装方向要求 无
电气参数 工作电压 AC 220V±15%
功率 取决于配气仪路数
数字控制信号 RS-485 Modbus-RTU
电信号接口 AC220V 三项插座
2.物理参数
各路 MFC 阀门 比例阀（常闭）
各路 MFC 通过介质 干燥气体
各路 MFC 工作温度 0-50℃
各路 MFC 传感器温度补偿范围 0-50℃
各路 MFC 工作湿度 0-100%（非冷凝）
存储温度 -40~85℃
各路 MFC 泄漏率 ＜0.020sccm He (压差 150psi)
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￥38000
