乙烯基三甲氧基硅烷涂胶机 VTMS沉积系统 返回列表页

乙烯基三甲氧基硅烷涂胶机 VTMS沉积系统应用

   乙烯基三甲氧基硅烷（VTMS）别名:三甲氧基甲硅烷基)乙烯, 三甲氧基乙烯基硅烷, 是含硅基和羟基的硅烷偶联剂，可用于提高不同复合材料的润湿性和超疏水性。VTMS可用于为TiO2、滑石、高岭土、氧化镁纳米颗粒、磷酸铵以及PEDOT等不同材料提供超疏水性。 

  可以在各种材料表面形成均匀的润滑保护膜，具有防水、防油、防尘的功能。因此，它常被用作表面处理剂，在纺织、皮革、纸张、塑料、金属等材料的加工过程中，起到改善表面性能、提高产品质量的作用。 

   在材料进行表面改性，形成防水保护层，主要用于半导体、光电、生物新材料等表面处理工艺、机械乳化剂、橡胶粘结剂，化工油墨分散剂等用途。

乙烯基三甲氧基硅烷涂胶机 VTMS沉积系统性能

容量：1-12寸晶圆/方片、碎片兼容，及面板设备
材质：内箱采用优质镜面不锈钢
使用温度：80-1500℃ 
真空度：1000pa
人机界面：多个工艺储存，一键运行
VTMS控制:VTMS自动添加
真空泵：高性能无油涡旋泵

        半导体设备厂商上海隽思仪器，硅烷气相沉积设备包含增粘剂硅烷(HMDS等）、抗黏剂硅烷沉积、脱模剂硅烷（PFTS）沉积、表面改性修饰硅烷处理等，精密热板、HMDS预处理系统烘箱、智能型HMDS真空预处理系统烘箱、MSD超低湿烘箱、无尘烘箱、洁净烘箱，氮气烘箱、无氧烘箱、无尘无氧烘箱、真空烘箱、真空储存柜、超低温试验箱、超低湿试验箱等环境可靠性设备。