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光氧催化利用高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物。
光氧催化利用氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧对有机物具有较强的氧化作用。工业废气输入到净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束和臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
光氧催化利用细菌的分子键，破坏细菌的核酸，再通过臭氧进行氧化反应，达到净化杀灭细菌的目的。采用脉冲电晕吸附技术相结合的原理对有害气体进行消除，使有机物转变为无机物。?
光氧催化废气处理设备是一种专门去除有毒有害气体及恶臭气体的一种装置。它具有高效率、运行成本低、设备占地面积小，自重轻、无任何机械动作，无噪音等特点，光氧催化废气处理设备净化效率在96%以上，是目前市场上处理有机有害气体的废气净化设备。如果是要处理浓度比较高的废气的话，配合水帘 + 废气洗涤塔 + 低温等离子设备 + 光解式废气净化装置 来共同处理，处理废气的净化效率会达到98%。
uv光氧催化废气处理工作原理光氧催化处理废气的方式，基本上是破坏废气中的分子结构，转换成无污染的物质，达到节能排放的目的，也为一些厂家省了不少开支。
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